في جامعة أوبول للتقنية، تم إنشاء مختبر متخصص في هندسة المواد مع جهاز الفحص بالميكروسكوب الإلكتروني JSM-840A مع نظام طيف الطاقة المتشتت (EDS) مما يتيح العمل عند تكبير يصل إلى 300000. مرات.
يعتبر الميكروسكوب الجديد، بالاشتراك مع التحليل الدقيق للأشعة السينية لـ EDS، أداة قوية تسمح بتحديد التركيب الأولي للعينات بحجم عدة ميكرومترات أو إنشاء خريطة لتوزيع العناصر في منطقة أكبر من العينة ذات المساحة الميكرومترية القرار.
يعد المسح المجهري الإلكتروني باستخدام نظام EDS أسلوبًا مفيدًا وشائعًا بشكل متزايد لتوصيف السطوح، والمساحات السطحية وبنية المواد – بشكل أساسي التشكل والتركيب العنصري. يسمح بملاحظة كل من العينات العضوية والمعدنية بتكبيرات عالية جدًا، واستخدامها واسع جدًا.